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一种用于单晶炉降低晶棒头部氧含量的支撑环 

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申请/专利权人:包头美科硅能源有限公司;云南美科新能源发展有限公司

摘要:本实用新型提供一种用于单晶炉降低晶棒头部氧含量的支撑环,属于单晶硅生产领域,包括:主支撑环;安装槽,两个安装槽均开设于主支撑环的圆周内壁上;卡接槽;内径调节机构,本方案中通过安装槽的设置用于放置主加热器的支撑腿,使得安装槽的安装不会影响主加热器支撑腿的安装,通过主支撑环的设置减少主加热器对坩埚底部的热量散失,减缓硅料及生产过程中石英坩埚的反应速率,减少一氧化硅的产生,进而减少氧的析出,提高熔体中的纵向温度梯度,使得液面高氧区液体向埚底回流,使氧在硅液中的分布更加均匀,有效减少晶棒中的头氧浓度,可以解决现有技术中的单晶炉直拉法硅单晶生长过程中,晶棒头部的氧含量往往偏高的问题。

主权项:1.一种用于单晶炉降低晶棒头部氧含量的支撑环,其特征在于,包括:主支撑环1;安装槽2,其设置有两个,两个所述安装槽2均开设于主支撑环1的圆周内壁上,且两个安装槽2对称设置;卡接槽5,其开设于主支撑环1的底部;以及内径调节机构,设于主支撑环1上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 包头美科硅能源有限公司 云南美科新能源发展有限公司 一种用于单晶炉降低晶棒头部氧含量的支撑环

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