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申请/专利权人：辽宁烯旺石墨科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种改进的气相沉积炉，涉及气相沉积炉技术领域，包括主体，所述主体的上端设置有加热装置，所述加热装置的一端安装有沉积炉，所述沉积炉的正面安装有观察窗，所述主体一侧的上端设置有供气装置，所述供气装置的一端安装有进气口。本实用新型通过控制按钮设定需要温度，然后启动加热机，使其制造热气，然后启动循环泵，使加热机制造的热气通过输气管进入到加热管道中，然后使加热管道对沉积炉内部进行均匀加热，然后通过止回阀返回加热机内，同时通过循环泵的作用使其一直循环，使热气可以保持最大的热量，此时止回阀则防止热气回流，同时会将沉积炉内的温度显示在显示屏上面，以供使用人员可以清晰的观察。
主权项：1.一种改进的气相沉积炉，包括主体1，其特征在于：所述主体1的上端设置有加热装置2，所述加热装置2的一端安装有沉积炉3，所述沉积炉3的正面安装有观察窗4，所述主体1一侧的上端设置有供气装置5，所述供气装置5的一端安装有进气口6，所述沉积炉3的上端安装有排气口7，所述主体1中心位置的上端设置有保护装置8；所述加热装置2包括加热机21，所述加热机21的下端与主体1的上端固定连接，所述加热机21的正面设置有显示屏22，所述显示屏22的下端安装有控制按钮23，所述加热机21的一端设置有循环泵24，所述循环泵24的一端安装有输气管25，所述输气管25的一端安装有加热管道26，所述输气管25的另一端设置有止回阀27；所述供气装置5包括支撑脚51，所述支撑脚51的下端与主体1一侧的上端固定连接，所述支撑脚51上端安装有供气罐52，所述供气罐52的上端设置有供气泵53，所述供气泵53的上端安装有供气管道54，所述供气管道54的上端设置有调节阀55，所述供气管道54的一端安装有输气柱56。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 辽宁烯旺石墨科技有限公司 一种改进的气相沉积炉
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