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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本申请公开了一种基于边缘检测的晶圆圆心定位方法及其相关设备，涉及半导体技术领域，该方法包括：获取至少三个预设边缘点的预设机械坐标和边缘图像；通过Canny边缘检测算子对所述边缘图像进行处理，得到每个所述边缘图像中的目标边缘点；根据所述目标边缘点、所述预设边缘点和所述预设机械坐标，确定所述晶圆的圆心位置。在本申请中，提高了晶圆圆心检测过程的精度。
主权项：1.一种基于边缘检测的晶圆圆心定位方法，其特征在于，所述基于边缘检测的晶圆圆心定位方法包括以下步骤：获取至少三个预设边缘点的预设机械坐标和边缘图像；通过Canny边缘检测算子对所述边缘图像进行处理，得到每个所述边缘图像中的目标边缘点；根据所述目标边缘点、所述预设边缘点和所述预设机械坐标，确定所述晶圆的圆心位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 基于边缘检测的晶圆圆心定位方法及其相关设备
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