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申请/专利权人：深圳泰研半导体装备有限公司
摘要：本实用新型提供的一种自动晶圆圆心对中装置，包含机台，机台上设置有摄像机构、对中机构；摄像机构包含设置于机台顶部的立柱、设置于立柱顶部的三坐标调节机构、安装在三坐标调节机构上的摄像头；对中机构包含灯光机构、真空吸附机构，灯光机构包含设置于机台顶部的环形灯座、设置于环形灯座顶部的环形灯，真空吸附机构包含固定连接在机台顶部且位于环形灯座内部的支柱、固定连接在支柱顶端的托盘，托盘内部中空设置有气腔，支柱内部设置有与气腔连通的气道，托盘顶部设置有若干与气腔连通的真空气孔，托盘的顶面高于环形灯的灯罩顶面，方便完成初始对焦工作，确保上料位置准确，柔性操作，避免晶圆损坏，提高产品质量，减小光污染。
主权项：1.一种自动晶圆圆心对中装置，包含机台，其特征在于，所述机台上设置有摄像机构、对中机构；所述摄像机构包含设置于所述机台顶部的立柱、设置于所述立柱顶部的三坐标调节机构、安装在所述三坐标调节机构上的摄像头；所述对中机构包含灯光机构、真空吸附机构，所述灯光机构包含设置于所述机台顶部的环形灯座、设置于所述环形灯座顶部的环形灯，所述真空吸附机构包含固定连接在所述机台顶部且位于所述环形灯座内部的支柱、固定连接在所述支柱顶端的托盘，所述托盘内部中空设置有气腔，所述支柱内部设置有与所述气腔连通的气道，所述托盘顶部设置有若干与所述气腔连通的真空气孔，所述托盘的顶面高于所述环形灯的灯罩顶面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳泰研半导体装备有限公司 一种自动晶圆圆心对中装置
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