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申请/专利权人:上海赢朔电子科技股份有限公司
摘要:本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的气路连通结构,包括导气盘10和摩擦盘20;导气盘10包括本体部11,本体部11呈圆环体形;本体部11上设置有若干个第一通气孔16;摩擦盘20包括盘体部21和环状凸起部22;环状凸起部22上设置有若干个第三通气孔24;摩擦盘20与导气盘10活动连接;环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面与本体部11的一侧面相抵接,使得环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够将本体部11的第一通气孔16封闭;环状凸起部22的中心轴线与本体部11的中心轴线位于同一条直线上;当导气盘10静止不动且摩擦盘20绕其环状凸起部22的中心轴线转动时,环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够相对于本体部11的一侧面转动。所述气路连通结构向邦头输送工作气体时,能够避免连接至邦头的柔性管路因邦头旋转而缠绕成一团。
主权项:1.一种用于转塔式固晶装置的气路连通结构,其特征在于,该气路连通结构包括导气盘10和摩擦盘20;导气盘10包括本体部11,本体部11呈圆环体形;本体部11上设置有若干个第一通气孔16,所有的第一通气孔16的中心点都位于同一条圆周线上;所有的第一通气孔16都为贯通本体部11的厚度的通孔;摩擦盘20整体呈圆盘体形,摩擦盘20包括盘体部21和环状凸起部22;盘体部21整体呈圆盘体形,且盘体部21的中心位置设置有圆形的中心孔23;环状凸起部22呈圆环体形,环状凸起部22固定设置于盘体部21的一侧面上且二者形成层叠结构,并且环状凸起部22的中心轴线与盘体部21的中心轴线位于同一条直线上;摩擦盘20的环状凸起部22与导气盘10的本体部11的尺寸相匹配;环状凸起部22上设置有若干个第三通气孔24,所有的第三通气孔24的中心点都位于同一条圆周线上,且所有的第三通气孔24都为贯通环状凸起部22和盘体部21二者整体厚度的通孔;摩擦盘20与导气盘10活动连接;摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面与导气盘10的本体部11的一侧面相抵接,使得摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够将导气盘10的本体部11的第一通气孔16封闭;摩擦盘20的环状凸起部22的中心轴线与导气盘10的本体部11的中心轴线位于同一条直线上;当导气盘10静止不动且摩擦盘20绕其环状凸起部22的中心轴线转动时,摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够相对于导气盘10的本体部11的一侧面转动。
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