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申请/专利权人：上海赢朔电子科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种用于转塔式固晶装置的气路连通结构，包括导气盘10和摩擦盘20；导气盘10包括本体部11，本体部11呈圆环体形；本体部11上设置有若干个第一通气孔16；摩擦盘20包括盘体部21和环状凸起部22；环状凸起部22上设置有若干个第三通气孔24；摩擦盘20与导气盘10活动连接；环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面与本体部11的一侧面相抵接，使得环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够将本体部11的第一通气孔16封闭；环状凸起部22的中心轴线与本体部11的中心轴线位于同一条直线上；当导气盘10静止不动且摩擦盘20绕其环状凸起部22的中心轴线转动时，环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够相对于本体部11的一侧面转动。所述气路连通结构向邦头输送工作气体时，能够避免连接至邦头的柔性管路因邦头旋转而缠绕成一团。

主权项：1.一种用于转塔式固晶装置的气路连通结构，其特征在于，该气路连通结构包括导气盘10和摩擦盘20；导气盘10包括本体部11，本体部11呈圆环体形；本体部11上设置有若干个第一通气孔16，所有的第一通气孔16的中心点都位于同一条圆周线上；所有的第一通气孔16都为贯通本体部11的厚度的通孔；摩擦盘20整体呈圆盘体形，摩擦盘20包括盘体部21和环状凸起部22；盘体部21整体呈圆盘体形，且盘体部21的中心位置设置有圆形的中心孔23；环状凸起部22呈圆环体形，环状凸起部22固定设置于盘体部21的一侧面上且二者形成层叠结构，并且环状凸起部22的中心轴线与盘体部21的中心轴线位于同一条直线上；摩擦盘20的环状凸起部22与导气盘10的本体部11的尺寸相匹配；环状凸起部22上设置有若干个第三通气孔24，所有的第三通气孔24的中心点都位于同一条圆周线上，且所有的第三通气孔24都为贯通环状凸起部22和盘体部21二者整体厚度的通孔；摩擦盘20与导气盘10活动连接；摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面与导气盘10的本体部11的一侧面相抵接，使得摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够将导气盘10的本体部11的第一通气孔16封闭；摩擦盘20的环状凸起部22的中心轴线与导气盘10的本体部11的中心轴线位于同一条直线上；当导气盘10静止不动且摩擦盘20绕其环状凸起部22的中心轴线转动时，摩擦盘20的环状凸起部22的远离盘体部21的一侧面能够相对于导气盘10的本体部11的一侧面转动。

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