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申请/专利权人：柯尔微电子装备(厦门)有限公司
摘要：本申请涉及晶圆外观检查技术领域，具体公开一种全自动晶圆表面检查机以及晶圆检查方法。该全自动晶圆表面检查机包括机架，以及安装在机架上的料盒、载盘、机械手、翻面模组、宏观检模组和微观检模组。载盘用于承载晶圆。翻面模组具有夹持机构和翻转器。翻转器安装在机架上。翻转器的输出端连接于夹持机构。夹持机构配置为能夹持载盘。宏观检模组配置有用于承接载盘的宏观工位。微观检模组配置有用于承接载盘的微观工位。机械手配置为能托运载盘，并将载盘在收储工位、夹持机构、宏观工位和微观工位之间进行转移。本检查机能对晶圆正面进行宏观检查定位瑕疵后，再针对宏观检出的瑕疵进行微观检查复判，提升检出瑕疵的效率和准确度。
主权项：1.一种全自动晶圆表面检查机，其特征在于，包括机架（1），以及安装在所述机架（1）上的料盒（2）、载盘（3）、机械手（4）、翻面模组（5）、宏观检模组（6）和微观检模组（7）；所述载盘（3）配置为用于承载晶圆（8）；所述料盒（2）配置有用于装载所述载盘（3）的收储工位（201）；所述翻面模组（5）具有夹持机构（51）和翻转器（52）；所述翻转器（52）安装在所述机架（1）上；所述翻转器（52）的输出端连接于所述夹持机构（51）；所述夹持机构（51）配置为能夹持所述载盘（3）；所述宏观检模组（6）配置有用于承接所述载盘（3）的宏观工位（6051）；所述微观检模组（7）配置有用于承接所述载盘（3）的微观工位（7051）；所述机械手（4）配置为能托运所述载盘（3），并将所述载盘（3）在所述收储工位（201）、所述夹持机构（51）、所述宏观工位（6051）和所述微观工位（7051）之间进行转移。
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