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申请/专利权人：吉盛微(武汉)新材料科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种组装型晶舟，其包括两个圆盘和多个支撑杆，两个圆盘之间平行设置，设定一垂直于圆盘的直线为定位轴线，支撑杆平行于定位轴线设置，多个支撑杆绕定位轴线轴向布置，间隔最远的两个支撑杆的间距不大于支撑杆到定位轴线垂直距离的两倍，支撑杆靠近定位轴线的侧壁处形成有多个支撑槽，支撑杆上的多个支撑槽沿支撑杆的长度方向依次设置，支撑杆的两端分别与两个圆盘可拆卸连接；通过多个支持杆上形成的支撑槽，用以放置晶圆，从而在移动该晶舟的过程可带动晶圆移动，在使用一段时间后，检测支撑杆的磨损状态，若磨损较为严重则更换对应的支撑杆即可，同时，若支撑杆断裂，只需更换断裂的支撑杆即可，无需整体更换，降低成本。
主权项：1.一种组装型晶舟，其特征在于，包括两个圆盘和多个支撑杆；两个所述圆盘之间平行设置，设定一垂直于所述圆盘的直线为定位轴线；所述支撑杆平行于所述定位轴线设置，多个所述支撑杆绕所述定位轴线轴向布置，间隔最远的两个所述支撑杆的间距不大于所述支撑杆到所述定位轴线垂直距离的两倍，所述支撑杆靠近所述定位轴线的侧壁处形成有多个支撑槽，所述支撑杆上的多个所述支撑槽沿所述支撑杆的长度方向依次设置，用以支撑晶圆，所述支撑杆的两端分别与两个所述圆盘可拆卸连接；还包括标识件，所述标识件与所述圆盘连接，用以标识圆盘的周向位置，标识件包括形成于圆盘中心处的安装孔，用以确定定位轴线的位置，标识件还包括与安装孔相连通的标识槽，多个支撑杆设于圆盘远离标识槽的侧壁处，标识件还包括标识棱边以及两个定位槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉盛微(武汉)新材料科技有限公司 一种组装型晶舟
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