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申请/专利权人：云南大学;成都晶特激光技术有限公司
摘要：本发明属于室温键合器件技术领域，具体涉及一种玻璃和晶体键合器件的制备方法。本发明利用等离子体对玻璃和晶体的待键合面进行活化处理，既可清洗待键合面的氧化物膜及污染物，又可在待键合表面形成悬浮键，生成的悬浮键使得待键合面具有强吸附力，在室温键合过程中待键合面结合，两个待键合面之间的悬浮键进一步重组并形成更加稳定的孤对电子之间成键，从而实现高质量键合，提高异质间的键合强度，还可以避免传统高温键合工艺过程中由于高温引起的材料间热失配问题，提高成品率，实现高效率制备。
主权项：1.一种玻璃和晶体键合器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将玻璃的待键合面和晶体的待键合面依次在第一有机溶剂进行超声波清洗、采用蒸馏水冲洗干净、采用第二有机溶剂进行表面洗净，得到清洗后玻璃的待键合面和晶体的待键合面；在真空环境中，将所述清洗后玻璃的待键合面和晶体的待键合面分别进行等离子体表面活化处理后，将所得表面处理后玻璃的待键合面和晶体的待键合面贴合进行压力键合，得到玻璃和晶体键合器件。
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百度查询： 云南大学 成都晶特激光技术有限公司 一种玻璃和晶体键合器件的制备方法
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