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申请/专利权人：东莞市鼎力自动化科技有限公司

摘要：本发明公开了一种浮动式的晶圆边缘倒角研磨机，本发明涉及晶圆边缘倒角加工技术领域，包括机架，所述机架底端安装有定位组件，所述定位组件上安装有卡位磨台，用于将晶圆定位，定位组件用于带动卡位磨台在机架上进行水平定位移动，能够带动卡位磨台在机架上沿横向或纵向进行水平移动；所述机架的顶部固定安装有。该浮动式的晶圆边缘倒角研磨机，通过球面磨削体采用的球面结构设计，可以适应不同形状和尺寸的晶圆边缘，无论是圆形、椭圆形还是其他异形，都能够在定位组件的配合调节运动下，实现精确的倒角磨削，这种灵活性使得磨削头更加通用，适用于不同类型的晶圆加工，即球面磨削体的适应性强。

主权项：1.一种浮动式的晶圆边缘倒角研磨机，包括机架1，所述机架1底端安装有定位组件4，所述定位组件4上安装有卡位磨台8，用于将晶圆定位，定位组件4用于带动卡位磨台8在机架1上进行水平定位移动；其特征在于：所述机架1的顶部固定安装有；磨削头2，该磨削头2安装在卡位磨台8与机架1之间，所述磨削头2用于对晶圆边缘进行倒角磨削；浮动组件3，该浮动组件3固定安装在机架1顶部，浮动组件3用于将磨削头2在垂直方向上浮动运动，所述浮动组件3为气缸，气缸内部安装有活塞和连接杆5，活塞与气缸内的气体相连，随气缸的伸缩而上下移动；传动组件6，该传动组件6安装在连接杆5与磨削头2之间，传动组件6配合连接杆5与磨削头2连接，并将活塞的上下运动转化为磨削头2的垂直浮动运动；其中，磨削头2包括组装在传动组件6底部的旋转吊架，旋转吊架包括球顶块22，球顶块22的底部转动连接有球面磨削体21，球面磨削体21用于对不同形状和尺寸的晶圆的边缘适应，球面磨削体21的内侧为中空设置，且球面磨削体21的内侧沿周向均布有内磨件23，所述球面磨削体21的中部安装有直流电机24；所述球面磨削体21内侧沿圆周均匀开设有圆台槽215，球面磨削体21还包括接触式传感器211，所述接触式传感器211位于球面磨削体21的内侧底部沿圆周均布设置，所述球顶块22包括壁挡221，其数量为两组，两组所述壁挡221呈中心对称状固定连接在球顶块22上；所述内磨件23包括伸缩杆231，所述伸缩杆231一端通过引导腔212固定安装在球面磨削体21内侧，所述伸缩杆231的伸缩端插销安装有夹板件235，夹板件235铰接在长杆234上；所述引导腔212的内侧还固定安装有卡盘232，且卡盘232安装在伸缩杆231上方，所述卡盘232上铰接有短杆233，所述短杆233远离卡盘232的一端铰接有长杆234，伸缩杆231与短杆233的倾斜方向一致；所述内磨件23还包括DD马达236，所述DD马达236固定安装在长杆234底部，所述DD马达236的输出端安装有小磨头237，小磨头237通过DD马达236与长杆234转动安装，所述小磨头237通过圆台槽215与球面磨削体21嵌合安装，所述短杆233和长杆234上均贴合安装有导风板238，导风板238的纵截面为V字形；其中，长杆234呈竖直状展开设置时，小磨头237的底部低于接触式传感器211的底部；所述传动组件6包括吊管61，所述吊管61螺纹连接在连接杆5底部，所述吊管61底部固定安装有吊块62，吊块62远离连接杆5的一端开设有通风扁口，所述吊块62内部固定安装有伺服电机63，伺服电机63具有双头输出端，所述伺服电机63的输出端内安装有电磁锁舌64，伺服电机63通过电磁锁舌64与壁挡221插装。

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