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申请/专利权人：深圳超盈智能科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种半导体晶片的测试设备，包括设备台架、限位测试台和机械手，限位测试台包括分别用于定位限位半导体晶片和测试电路板的晶片限位座和电路板限位台架，设备台架上设置有观测机构，电路板限位台架包括电路板限位机构以及调节电路板限位机构在水平方向移动和旋转的电路板调位机构，电路板调位机构上设置有对电路板限位机构限位的电路板上的测试探针进行自动清洁和自动磨针的清洁磨针机构以及驱动清洁磨针机构相对电路板限位机构限位的电路板相对移动的水平驱动机构。自动化的清洁打磨电路板上的测试探针，速度快、效率高，操作难度低，稳定性高，有效提高了半导体晶片测试检测效率和检测准确性。
主权项：1.一种半导体晶片的测试设备，包括设备台架、限位检测半导体晶片的限位测试台和转移移栽半导体晶片的机械手，所述限位测试台包括分别用于定位限位半导体晶片和测试电路板的晶片限位座（100）和电路板限位台架，所述设备台架上设置有对电路板上的测试探针和晶片限位座（100）上固定的半导体晶片位置进行观测的观测机构，其特征在于：所述电路板限位台架包括电路板限位机构（200）以及调节电路板限位机构（200）在水平前后方向移动、水平左右方向移动和水平方向旋转移动的电路板调位机构（300），所述电路板调位机构（300）上设置有对电路板限位机构（200）限位的电路板上的测试探针进行自动清洁和自动磨针的清洁磨针机构（400）以及驱动清洁磨针机构（400）相对电路板限位机构（200）限位的电路板相对移动的第一水平驱动机构（500）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳超盈智能科技有限公司 一种半导体晶片的测试设备
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