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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要：本发明属于半导体基础材料领域，特别涉及一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备，该设备包括：支架、物料放置台、炉体以及籽晶杆结构；支架位于设备的底端，用于支撑整个设备；物料放置台的一端设置在支架内部，另一端设置在炉体的内部；炉体的底部设置在支架顶部，籽晶杆结构设置在炉体的顶部，构成液相外延YIG晶体生长自动控制设备；本发明的设备炉膛采用金属夹层水冷结构，炉膛顶部及底部设计有匹配温场的进出孔径，并设计有T台结构用于进行温场密封，炉体沿母线180度开合，便于温场装卸。
主权项：1.一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备，其特征在于，包括：炉体升降结构、物料放置台、炉体、提拉头以及籽晶杆；炉体设置在炉体升降结构上，从而控制炉体的高度和位置；提拉头与紫晶杆连接，其中提拉头用于控制紫晶杆的升降；提拉头固定在炉体升降结构的顶部，使得固定在提拉头上的紫晶杆位于炉体的上方；物料放置台与炉体升降结构固定连接，使得放置在物料放置台上的物料能进入炉体内部；炉体包括炉壳、保温加热系统以及闸门系统；炉壳为中空结构，炉壳的中心位置设置有炉膛，坩埚放置在炉膛中；所述保温加热系统设置炉体内部，且与炉膛壁紧密贴合，通过保温加热系统对炉膛进行加热保温；所述闸门系统分别与炉壳和保温加热系统连接；闸门系统包括三对闸门机构，其中第一对闸门机构设置在炉壳中，用于对炉膛中的坩埚加料；第二对闸门机构设置在保温加热系统中，用于调节保温加热系统中的温度；第三对闸门机构设置在炉体升降机构中，用于调节炉体升降机构的压强；保温加热系统包括加热电源和温场模块，加热电源用于给温场模块供电；温场模块由至少两个温场构成，温场与温场拼接部分采用Z字型连接；温场由3组外延温区和2组预热温区组成，其中外延温区和预热温区之间装配有特殊结构，可相对隔绝外延温区与预热温区之间的工艺气氛，预热温区与外界之间也存在特殊结构，可相对隔绝预热温区与外界之间的热交换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 一种液相外延YIG晶体生长自动控制设备
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