龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：先进科技新加坡有限公司
摘要：一种用于将电子元件键合到基座件的键合系统包括用于形成第一惰性环境的第一容器，基座件可以在电子元件的键合期间被安置在第一惰性环境中。第一等离子清洁装置被安置在第一容器内以通过去除电子元件和或基座件上的金属氧化物来清洁电子元件和或基座件。还提供了第二等离子清洁装置，以在电子元件被传送到第一容器之前通过去除电子元件上的有机污染物来清洁电子元件。键合头被可移动地安装在第一容器内，以在电子元件和或基座件已被第一等离子清洁装置清洁之后将电子元件键合到基座件。
主权项：1.一种用于将电子元件键合到基座件的键合系统，所述键合系统包括：第一容器，其用于形成第一惰性气体环境，所述基座件能够在所述电子元件的键合期间被安置在所述第一惰性气体环境中，第一等离子清洁装置，其能操作以通过去除所述电子元件和或所述基座件上的金属氧化物来清洁所述电子元件和或所述基座件，所述第一等离子清洁装置被安置在所述第一容器内，第二等离子清洁装置，其能操作以在所述电子元件被转移到所述第一容器之前通过去除所述电子元件上的有机污染物来清洁所述电子元件，以及键合头，其能移动地安装在所述第一容器内，所述键合头能操作以在所述电子元件和或所述基座件已被所述第一等离子清洁装置清洁之后将所述电子元件键合到所述基座件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先进科技新加坡有限公司 无助焊剂的热压键合的系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号