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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
摘要：本发明提出了一种用于多片碲锌镉衬底的自动腐蚀与清洗装置，包括：升降结构，花篮，腐蚀器皿以及清洗槽；升降结构上设置有夹持结构，升降结构布置于水平运动模组，用于实现升降结构沿水平运动模组的方向进行水平移动，夹持结构在升降结构上是可升降移动的；花篮的衬底放置面上设置有至少两个衬底的放置槽，并且通过杆状结构与夹持结构可拆卸连接；腐蚀器皿以及清洗槽沿水平运动模组的方向依次布置，其中腐蚀器皿的下方设置有磁力搅拌装置，用于对腐蚀器皿中的腐蚀液按照配置参数进行搅拌，进一步实现对衬底的腐蚀处理。本发明可以有效改善该工艺过程的一致性，提高工艺过程的安全性和生产效率。
主权项：1.一种用于多片碲锌镉衬底的自动腐蚀与清洗装置，其特征在于，包括：升降结构，其上设置有夹持结构，所述升降结构布置于水平运动模组，用于实现所述升降结构沿所述水平运动模组的方向进行水平移动，所述夹持结构在所述升降结构上是可升降移动的；花篮，所述花篮的衬底放置面上设置有至少两个衬底的放置槽，并且通过杆状结构与所述夹持结构可拆卸连接；腐蚀器皿以及清洗槽，沿所述水平运动模组的方向依次布置，其中所述腐蚀器皿的下方设置有磁力搅拌装置，用于对所述腐蚀器皿中的腐蚀液按照配置参数进行搅拌，进一步实现对所述衬底的腐蚀处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十一研究所 一种用于多片碲锌镉衬底的自动腐蚀与清洗装置
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