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申请/专利权人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明公开一种超声波清洗装置，其包括：基板，其上方固定连接有箱体，箱体内设置有清洗腔；载板，位于基板上，载板与基板之间设置有悬浮结构，悬浮结构用于驱使载板悬浮于基板上；集成单元，其内部集成有超音波振子和振板，集成单元固定连接在载板上；以及金属层流罩，卡接于箱体上。箱体为矩形结构，箱体的侧壁上对称开设有连通腔，连通腔之间为连通状态；以及箱体的侧壁上开设有通孔，通孔内壁与集成单元之间连接有柔性的连接管，集成单元的信号线是位于连接管内，且通过通孔置于箱体的外部。本发明可以有效改善现有的超声波清洗装置在使用过程中不易于维修，振动过程产生的噪声大以及在振板外周围的密封圈位置容易发生漏液的问题。
主权项：1.一种超声波清洗装置，其特征在于，包括：基板100，其上方固定连接有箱体110，所述箱体110内设置有清洗腔1101；载板200，位于所述基板100上，所述载板200与所述基板100之间设置有悬浮结构，所述悬浮结构用于驱使所述载板200悬浮于所述基板100上；集成单元10，其内部集成有超音波振子和振板，所述集成单元10是固定连接在所述载板200上；以及金属层流罩300，卡接于所述箱体110上；其中，所述箱体110为矩形结构，所述箱体110的侧壁上对称开设有连通腔1102，所述连通腔1102之间为连通状态；以及所述箱体110的侧壁上开设有通孔102，所述通孔102内壁与所述集成单元10之间连接有柔性的连接管130，所述集成单元10的信号线位于所述连接管130内，且通过所述通孔102置于箱体110的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 一种超声波清洗装置
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