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申请/专利权人：中环领先半导体材料有限公司

摘要：本发明公开了一种硅片读取设备，包括读卡组件，读卡组件包含工作台，工作台上设有横向滑轨，横向滑轨上滑动连接横向滑块，横向滑块由横向气缸驱动左右移动，横向滑块上端面固接竖向滑轨，竖向滑轨上滑动连接竖向滑块，竖向滑块由竖向气缸驱动前后滑动，竖向滑块上端面竖直固接立杆，立杆上侧端面固接读卡探头，读卡探头接触连接在储卡组件上，储卡组件中空放置在抬起组件上端，储卡组件包括连接杆、放置壳、分隔槽和片蓝，读卡探头接触连接在片蓝上，片蓝卡接在分隔槽内，分隔槽竖直贯穿放置壳上端面，放置壳有两个，且相互对称放置，放置壳两侧端面垂直固接连接杆两端。

主权项：1.一种硅片读取设备，包括读卡组件1，其特征在于：所述读卡组件1包括工作台11、横向气缸12、横向滑轨13、横向滑块14、竖向气缸16、竖向滑轨17、竖向滑块18、立杆19和读卡探头20，所述工作台11上设有横向滑轨13，所述横向滑轨13上滑动连接横向滑块14，所述横向滑块14由横向气缸12驱动左右移动，所述横向滑块14上端面固接竖向滑轨17，所述竖向滑轨17上滑动连接竖向滑块18，所述竖向滑块18由竖向气缸16驱动前后滑动，所述竖向滑块18上端面竖直固接立杆19，所述立杆19上侧端面固接读卡探头20，所述读卡探头20接触连接在储卡组件4上，所述储卡组件4中空放置在抬起组件2上端，抬起组件2位于横向滑块14上，所述储卡组件4包括连接杆40、放置壳41、分隔槽42和片蓝43，所述读卡探头20接触连接在片蓝43上，所述片蓝43卡接在分隔槽42内，所述分隔槽42竖直贯穿放置壳41上端面，所述放置壳41有两个，且相互对称放置，所述放置壳41两侧端面垂直固接连接杆40两端，所述抬起组件2包括电机箱21、主动齿轮22、皮带23、从动齿轮24、横杆25、支撑架26、凸轮27、复位柱29、固定块30和抬起块31，所述竖向滑块18上端面一侧固接电机箱21，所述电机箱21驱动主动轴旋转，该主动轴侧壁固接主动齿轮22，所述主动齿轮22由皮带23驱动从动齿轮24旋转，所述从动齿轮24内壁贯穿固接从动轴，从动轴贯穿支撑架26，位于支撑架26内部的从动轴同轴线固接凸轮27，所述支撑架26底端面固接水平的横杆25，所述凸轮27侧端面滑动连接在复位柱29，所述复位柱29贯穿支撑架26上端面且滑动在其内部，所述复位柱29上端固接固定块30，所述固定块30垂直固接抬起块31，所述抬起块31接触连接片蓝43底部。

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