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申请/专利权人：厦门蚨祺自动化设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种全自动倒片设备，属于晶圆倒片技术领域，包括机体，机体上设置有至少一条第一流水线，第一流水线沿着工序依次设置有用于放置待开盖的晶圆盒的待料区、用于打开晶圆盒的开盒区以及用于卸料取出晶圆盒内卡匣的卸料区，待料区、开盒区及卸料区通过传送带连通；还包括开盒机构、夹持机构以及推料机构，开盒机构设置在开盒区上，开盒设置有至少一个开盒机构，推料机构上设置有推动组件、第一推料区以及第二推料区；夹持机构夹持开盒区的不同类型的晶圆盒内的卡匣分别放置在第一推料区以及第二推料区上，通过所述推动组件将所述第一推料区的卡匣内的晶圆推动至所述第二推料区的卡匣上，以便于全自动进行倒片，减少人为损坏的风险。
主权项：1.一种全自动倒片设备，其特征在于：包括机体（1），机体（1）上设置有至少一条第一流水线（2），所述第一流水线（2）沿着工序依次设置有用于放置待开盖的晶圆盒的待料区（3）、用于打开晶圆盒的开盒区（4）以及用于卸料取出晶圆盒内卡匣的卸料区（5），所述待料区（3）、所述开盒区（4）以及所述卸料区（5）之间通过传送带（6）连通；还包括开盒机构（7）、夹持机构（8）以及推料机构（9），所述开盒机构（7）设置在所述开盒区（4）上，所述开盒区（4）设置有至少一个开盒机构（7），所述推料机构（9）上设置有推动组件（901）、第一推料区（902）以及第二推料区（903）；所述夹持机构（8）夹持所述开盒区（4）的不同类型的晶圆盒内的卡匣分别放置在所述第一推料区（902）以及所述第二推料区（903）上，通过所述推动组件（901）将所述第一推料区（902）的卡匣内的晶圆推动至所述第二推料区（903）的卡匣上。
全文数据：
权利要求：
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