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一种陶瓷基板平整度检测装置 

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申请/专利权人:珠海市跨芯微科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种陶瓷基板平整度检测装置,包括水平设置的基座,待检测陶瓷基板放置于基座上,基座上设置有操作机台,操作机台通过升降组件连接有测量组件,测量组件包括圆盘,圆盘上铰接有测量基板,圆盘可带着测量基板旋转,测量基板上设置有竖向延伸的贯穿孔,贯穿孔内穿过有移位杆,测量基板的侧面上设置有豁口和定标组件,豁口与贯穿孔连通,豁口内穿过有刺杆,刺杆的内端与移位杆连接,刺杆的自由端位于定标组件的上方,移位杆向下移动时,带动刺杆向定标组件移动;与现有技术对比,本实用新型的有益效果是:当旋转测量组件遇到凸面或厚度不一致的斜面时,测量基板会发生倾斜从而判定待检测陶瓷基板的表面不平整。

主权项:1.一种陶瓷基板平整度检测装置,包括水平设置的基座,待检测陶瓷基板放置于基座上,其特征在于:所述的基座上设置有操作机台,操作机台通过升降组件连接有测量组件;所述的测量组件包括圆盘,圆盘上铰接有测量基板,圆盘可带着测量基板旋转,测量基板上设置有竖向延伸的贯穿孔,贯穿孔内穿过有移位杆;所述的测量基板的侧面上设置有豁口和定标组件,豁口与贯穿孔连通,豁口内穿过有刺杆,刺杆的内端与移位杆连接,刺杆的自由端位于定标组件的上方,移位杆向下移动时,带动刺杆向定标组件移动。

全文数据:

权利要求:

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