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申请/专利权人：苏州佑伦真空设备科技有限公司

摘要：本发明涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座，以及安装在底座右侧的电控柜；所述镀膜腔体的前侧面设置有开合门组件，开合门组件的内侧安装有离子源；所述镀膜腔体的顶端内部设置有镀锅；所述镀膜腔体的内壁安装有防着板，镀膜腔体的左右两侧面内壁的防着板上安装有加热灯。该材料均匀散发的真空镀膜机，通过两种加热蒸发模式，不仅可提高对材料的加热效率，还能提高一次加热的材料的量，继而提高了蒸发出来的材料的量，因此缩短了镀膜所需的时间，提高了镀膜的效率，提高了蒸发后的材料向上散发的范围和面积，继而再配合修正板的使用可将蒸发后的材料均匀的散发到镀锅上的基板表面，提高了镀膜的均匀性。

主权项：1.一种材料均匀散发的真空镀膜机，包括底座（1），以及安装在底座（1）右侧的电控柜（2）；所述底座（1）的上方安装有镀膜腔体（11），镀膜腔体（11）的下方内部安装有支撑板（6）；其特征在于，还包括：所述支撑板（6）的内部贯穿安装有热阻蒸发机构（3）和坩埚蒸发机构（4）；所述热阻蒸发机构（3）的上方设置有第一盖板（301），坩埚蒸发机构（4）的上方设置有第二盖板（5）；所述镀膜腔体（11）的前侧面设置有开合门组件（8），开合门组件（8）的内侧安装有离子源（9）；所述镀膜腔体（11）的顶端内部设置有镀锅（12）；所述镀膜腔体（11）的内壁安装有防着板（10），镀膜腔体（11）的左右两侧面内壁的防着板（10）上安装有加热灯（7）；所述镀膜腔体（11）的后侧连通有抽真空腔体（14），抽真空腔体（14）的后侧安装有真空泵（15）和干泵（16）；两组加热灯（7）之间通过安装支撑组件安装有修正板（17）；所述第二盖板（5）内部嵌入安装有防护夹层（52），防护夹层（52）的材质为铅材质；两组所述加热灯（7）的外侧安装有呈弧形状结构的调控框（19），调控框（19）的左侧内部贯穿螺纹连接有螺纹杆（191），调控框（19）的右侧面内部贯穿设置有定位杆（192），螺纹杆（191）和定位杆（192）的上端与镀膜腔体（11）内侧壁的防着板（10）相连接，螺纹杆（191）和定位杆（192）的底端贯穿支撑板（6）的内部；所述安装支撑组件包括安装在两个加热灯（7）内侧的呈圆环形状结构的安装环架（20），安装环架（20）的上表面内部开设有呈镜像“L”形状结构的容置滑槽（201），容置滑槽（201）的内部设置有一圈呈镜像“L”形状结构的滑杆（202），滑杆（202）的上端呈矩形状结构设置滑杆（202）的最高点低于安装环架（20）的最高点；所述安装环架（20）的上方凹凸配合连接有锁定环（21），锁定环（21）的外侧安装有一圈呈倒置设置的“L”形状结构的连接杆（212），连接杆（212）的下方通过连接弹簧（213）与安装环架（20）内部的槽相连接；锁定环（21）的底面安装有弹性金属锁定件（211），锁定环（21）和弹性金属锁定件（211）均呈圆环形状结构设置，弹性金属锁定件（211）的材质为铝材质；所述修正板（17）底部的第二安装杆（171）的外端内部开设有呈矩形状的槽，且呈矩形状的槽内插入有滑杆（202）的上端，滑杆（202）和第二安装杆（171）的上方设置有弹性金属锁定件（211）。

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