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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要：本申请涉及半导体高纯材料领域，具体涉及一种超高纯钨丝的制备方法。包括如下步骤：步骤S1在超高纯钨板上切割出直径为19～21mm的超高纯钨棒；步骤S2将步骤S1中的超高纯钨棒先进行高温热处理，随后经过连续加热‑旋锻，并重复加热‑旋锻，得到预处理超高纯钨棒；步骤S3.将步骤S2的预处理超高纯钨棒依次经附着石墨乳、加热和拉丝过程得到黑钨丝，重复石墨乳、加热和拉丝过程，随后进行电解抛光处理得到超高纯钨丝。本申请采用化学气相沉积法CVD制备的7N级超高纯钨板制备高纯钨丝。将超高纯钨棒先进行高温热处理，采用连续加热‑旋锻，随后对高纯钨棒进行了精细的拉丝处理，本申请的拉丝方法保证了钨丝的纯度和优异性能。
主权项：1.一种超高纯钨丝的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1.在超高纯钨板上切割出直径为19～21mm的超高纯钨棒；步骤S2.将步骤S1中的超高纯钨棒先进行高温热处理，随后经过连续加热-旋锻，并重复加热-旋锻，得到预处理超高纯钨棒；步骤S3.将步骤S2的预处理超高纯钨棒依次经附着石墨乳、加热和拉丝过程得到黑钨丝，重复石墨乳、加热和拉丝过程，随后进行电解抛光处理得到超高纯钨丝。
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权利要求：
百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种超高纯钨丝的制备方法
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