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申请/专利权人：纳狮新材料有限公司杭州分公司;纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司
摘要：本发明涉及钨丝刻蚀技术领域，公开了一种用于控制钨丝刻蚀的装置，包括：钨丝电流控制模块、炉体模块以及炉体供电模块；钨丝电流控制模块，用于根据炉体供电模块的实际电流，调节流经钨丝的电流；炉体中的工作气体在偏压的作用下进行钨丝刻蚀；炉体供电模块与炉体模块连接，用于为炉体提供电压，形成用于钨丝刻蚀所需的偏压。通过该装置，实现根据炉体供电模块的实际电流，调节流经钨丝的电流，在炉体和钨丝间形成稳定的偏压，从而提高钨丝刻蚀的工艺水平。
主权项：1.一种用于控制钨丝刻蚀的装置，其特征在于，所述装置包括：钨丝电流控制模块、炉体模块以及炉体供电模块；所述钨丝电流控制模块，用于根据炉体供电模块的实际电流，调节流经钨丝的电流；所述炉体模块与所述钨丝电流控制模块连接，炉体中的工作气体在偏压的作用下进行钨丝刻蚀；所述炉体供电模块与所述炉体模块连接，用于为炉体提供电压，形成用于钨丝刻蚀所需的偏压。
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权利要求：
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