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申请/专利权人：株式会社新川
摘要：本发明的课题在于在磁吸附载台的半导体晶粒的上推装置中，使移动元件能够顺利地移动。包括：磁性体的载台10；保持器20，在上部安装多个磁铁25、26，在上端面22磁吸附载台10；及外侧移动元件31与内侧移动元件34，配置于在保持器20的中央设置的孔23中，前端面穿过设置于载台10的上表面11的开口12，在低于上表面11的第一位置与高于上表面11的第二位置之间移动，在拾取半导体晶粒50时，前端面从切割片40的下表面42上推半导体晶粒50，多个磁铁25、26以邻接的磁铁的磁极不同的方式安装于孔23的外周部。
主权项：1.一种半导体晶粒的上推装置，其在拾取贴附于切割片的表面的半导体晶粒时上推所述半导体晶粒，所述半导体晶粒的上推装置的特征在于包括：磁性体的载台，包括吸附所述切割片的下表面的吸附面；保持器，在上部安装多个磁铁，在上端面磁吸附所述载台；及多个移动元件，配置于在所述保持器的中央设置的孔中，前端面穿过设置于所述载台的所述吸附面的开口，在低于所述吸附面的第一位置与高于所述吸附面的第二位置之间移动，在拾取所述半导体晶粒时，所述前端面从所述切割片的下表面上推所述半导体晶粒，多个所述磁铁以邻接的磁铁的磁极不同的方式安装于所述孔的外周部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社新川 半导体晶粒的上推装置
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