龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种工艺腔室以及半导体工艺设备，工艺腔室包括用于承载晶圆的基座、设置于基座上方的靶材以及设置于靶材以及基座之间的准直器，准直器包括本体以及调节结构，本体和调节结构中的一者设置有多个沿其厚度方向贯穿的第一通孔，另一者包括多个间隔设置的凸部，每个凸部设置有沿其厚度方向贯穿的第二通孔，第一通孔和第二通孔相连通以形成连通孔，凸部与第一通孔相配合的区域位于本体的中心区域；本体与调节结构能够相对移动，以改变连通孔的深度。本申请中利用调节结构，可随着工艺的进行调节第二孔的深宽比，进而达到调节待沉积材料上形成的溅射材料薄膜的均匀度的目的。
主权项：1.一种工艺腔室，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述工艺腔室包括用于承载晶圆的基座、设置于所述基座上方的靶材以及设置于所述靶材以及所述基座之间的准直器，所述准直器包括本体以及调节结构，所述本体和所述调节结构中的一者设置有多个沿其厚度方向贯穿的第一通孔，另一者包括多个间隔设置的凸部，每个所述凸部设置有沿其厚度方向贯穿的第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相连通以形成连通孔，所述凸部与所述第一通孔相配合的区域位于所述本体的中心区域；所述本体与所述调节结构能够相对移动，以改变所述连通孔的深度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺腔室以及半导体工艺设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号