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申请/专利权人：格物感知(深圳)科技有限公司
摘要：本发明公开了全解耦三轴一体MEMS加速度传感器及其工作方法，包括衬底层、结构层和盖板层，所述结构层位于衬底层与盖板层之间，所述结构层包括内质量块和外质量框，所述内质量块和外质量框之间分别设置有第一质量块、第二质量块、第三质量块和第四质量块，所述第一质量块与第三质量块沿Y轴对称设置，所述第二质量块和第四质量块沿X轴对称设置；所述第一质量块和第三质量块内均设置有X轴检测电极组件，所述第二质量块和第四质量块内均设置有Y轴检测电极组件；所述衬底层和盖板层之间设置有Z轴检测电极组件，本发明实现了X轴、Y轴、Z轴之间的完全解耦，其具有优异的交叉耦合系数，可同时进行三个轴向上加速度的高精度检测。
主权项：1.全解耦三轴一体MEMS加速度传感器，其特征在于：包括衬底层1、结构层2和盖板层3，所述结构层2位于衬底层1与盖板层3之间；所述结构层2包括质量框架，所述质量框架外围设置有硅基外框24，所述质量框架包括内质量块802和位于内质量块外周的外质量框801，所述内质量块802和外质量框801之间的左右两侧分别设置有第一收容腔和第三收容腔，所述内质量块802和外质量框801之间的上下两侧分别设置有第二收容腔和第四收容腔，所述第一收容腔内设置有第一质量块4、第二收容腔内设置有第二质量块5、第三收容腔内设置有第三质量块6、第四收容腔内设置有第四质量块7，所述第一质量块4与第三质量块6沿Y轴对称设置，所述第二质量块5和第四质量块7沿X轴对称设置；所述第一质量块4和第三质量块6内均设置有用于检测X轴向加速度的X轴检测电极组件，所述第二质量块5和第四质量块7内均设置有用于检测Y轴向加速度的Y轴检测电极组件；所述衬底层1和盖板层3之间设置有用于Z轴向加速度检测的Z轴检测电极组件。
全文数据：
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