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申请/专利权人：无锡诚承电子科技有限公司

摘要：本发明公开了一种提高离子注入机晶圆传输效率的传输系统，属于晶圆传输系统技术领域，其包括：准备工装模块，其内部划分有多个工装工位，所述工装工位处均设置有承载机构；装载口模块，设置在准备工装模块的相对前方，所述装载口模块为排列分布的多个；悬挂取送臂，架设在各所述装载口模块的相对上方，所述装载口模块中设有物料运输系统；本发明中尤其承载机构采用的脉冲气流动作能够检测晶圆夹持稳定性，从而识别判断真空机械手组件能否对晶圆安全性翻转、运移，以便晶圆从前置转运移载模块输送至后置转运移载模块时直接略过临时载台模块，减少不必要重复动作，从而提高传输效率。

主权项：1.一种提高离子注入机晶圆传输效率的传输系统，其特征在于：其包括：准备工装模块11，其内部划分有多个工装工位，所述工装工位处均设置有承载机构2；装载口模块1，设置在准备工装模块11的前方，所述装载口模块1为排列分布的多个，各所述装载口模块1与准备工装模块11中的工装工位相一一对应；悬挂取送臂，架设在各所述装载口模块1的上方，所述装载口模块1中设有物料运输系统，所述物料运输系统用于将晶圆盒连续输送至装载口模块1的卸运区，以便所述悬挂取送臂将晶圆盒中的晶圆一一取送至承载机构2；前置转运移载模块12，设置在准备工装模块11的后方，所述前置转运移载模块12内设置有真空机械手组件3，所述真空机械手组件3每次对其中一个所述承载机构2上放置的晶圆进行夹持传输；后置转运移载模块13，采用与所述前置转运移载模块12相同的真空机械手组件3，所述后置转运移载模块13中的真空机械手组件3沿离子注入机内传输空间水平架设；临时载台模块14，位于所述前置转运移载模块12与后置转运移载模块13之间，用于对前置转运移载模块12中真空机械手组件3内装夹的晶圆进行临时存放；反应模块15，左右分布在离子注入机内后置转运移载模块13的两侧位置，所述反应模块15包括离子源、加速机构以及工艺容腔，用于共同协作精确控制离子的种类、能量、剂量和注入分布，以便在晶圆上形成精确可控的掺杂层；所述承载机构2在所述真空机械手组件3完成对晶圆初步夹取后采用脉冲气流动作检测晶圆夹持稳定性，使得所述前置转运移载模块12处的真空机械手组件3能够基于夹持动态稳定强度判断被夹持晶圆能否进行翻转、运移动作，当夹持动态稳定强度符合预期值时，所述前置转运移载模块12处的真空机械手组件3略过所述临时载台模块14直接与所述后置转运移载模块13中的真空机械手组件3悬空对接，进行晶圆移运；所述准备工装模块11处设有视觉传感器；所述承载机构2包括：传输架21，其上滑动设置有安装板23，所述传输架21的一侧平行转动设置有传输丝杠22，所述安装板23通过螺纹传输作用滑动套设在传输丝杠22上；所述安装板23上滑动连接有上架板24，所述上架板24的滑动方向沿所述传输架21垂直方向设置，所述安装板23上转动设置有螺纹杆25，所述上架板24的下方通过螺纹套与所述螺纹杆25相滑动连接，所述安装板23上固定有电机26，所述电机26的输出端通过齿轮啮合作用与所述螺纹杆25连接传动；所述上架板24上固定有密封座4，所述密封座4的中同轴设置有载盘41；所述载盘41上开设有多个气流孔，且所述载盘41的上端面设有延长板槽42。

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