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申请/专利权人：苏州华煜半导体设备科技有限公司
摘要：本发明涉及贴膜机领域，尤其涉及一种多功能一体式贴膜装置。包括分别用于储存晶圆和铁环的第一料仓和第二料仓，并具有对应设置的取料机构，移载定位组件、贴膜组件和末端收料组件；其中，移载定位组件设置有定位平台和双料机械手，晶圆自第一料仓转运至定位平台上定位，双料机械手将铁环和定位后的晶圆吸附，并使得铁环和晶圆保持预设的相对位置；贴膜组件包括贴膜平台和贴膜机；翻转组件，在贴膜平台中将晶圆环吸附并翻转，使得打标机构对其进行打标；末端收料组件，具有用于储存晶圆环的收料仓，收料仓在收料仓驱动装置的带动下具有对接于打标机构的第一工位和对接于卸料机构的第二工位。
主权项：1.一种多功能一体式贴膜装置，其特征在于，具有基台（1），所述基台（1）上包括：分别用于储存晶圆和铁环的第一料仓（21）和第二料仓（22），并具有对应设置的取料机构（3）；移载定位组件（4），设置有定位平台（42）和双料机械手（43），所述晶圆自第一料仓（21）转运至定位平台（42）上定位，所述双料机械手（43）将铁环和定位后的晶圆吸附，并使得铁环和晶圆保持预设的相对位置；贴膜组件（5），包括贴膜平台（51）和贴膜机（52），所述贴膜平台（51）接收双料机械手（43）中的铁环和晶圆；所述贴膜机（52）具有贴膜滚筒（522），邻近贴膜滚筒（522）设置有裁切部，所述裁切部包括用于裁切不同膜料的第一裁切机构（54）和第二裁切机构（55）；晶圆贴膜后与铁环形成晶圆环；翻转组件（6），自贴膜平台（51）中将晶圆环吸附并翻转，使得打标机构（7）对其进行打标；末端收料组件（8），具有用于储存晶圆环的收料仓（81），所述收料仓（81）在收料仓（81）驱动装置的带动下具有对接于打标机构（7）的第一工位和对接于卸料机构的第二工位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州华煜半导体设备科技有限公司 一种多功能一体式贴膜装置
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