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申请/专利权人：安徽积芯微电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆片揭膜吸盘结构，涉及晶圆片揭膜吸盘结构技术领域，本发明包括真空泵，本发明通过设置清洁装置，可以启动电动伸缩杆带动连接杆和两个刮板在吸盘头的内壁中滑出，扭簧会带动刮板发生复位紧贴在吸盘头的内壁上，在启动支架上的电机带动电动伸缩杆和连接杆以及两个刮板在吸盘头的内壁中发生圆周运动，将其吸盘头内部粘附的水分刮离下去，由于吸盘头一般都是倒立放置在机械手上，当刮板将凝结的水珠刮离下去后，在重力的作用下会掉落出去，从而使其吸盘头的内壁不易粘附有水汽，避免后期使用时导致吸盘头的一侧在薄膜上发生打滑无法吸附住的情况出现，便于揭膜吸盘结构的使用，提高晶圆片的加工效率。
主权项：1.一种晶圆片揭膜吸盘结构，包括真空泵1，其特征在于：所述真空泵1的接口处固定连接有连接管4，所述连接管4的一端固定连接有吸盘头5，所述吸盘头5的内壁设置有清洁装置2；所述清洁装置2包括连接杆25和两个凹槽架26；所述连接杆25与凹槽架26之间设置有可拆卸装置3，所述吸盘头5的内壁固定连接有支架22，所述支架22的一侧固定连接有电机23，所述电机23的输出端固定连接有电动伸缩杆24，所述电动伸缩杆24的输出端与连接杆25的一侧固定连接，所述凹槽架26的内壁转动连接有圆轴27，所述圆轴27的外表面固定连接有刮板28，所述圆轴27的两端外表面均套设连接有扭簧29，所述扭簧29的两端分别与刮板28和凹槽架26的一侧固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽积芯微电子科技有限公司 一种晶圆片揭膜吸盘结构
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