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一种波长可调谐半导体激光器 

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申请/专利权人:武汉云岭光电股份有限公司

摘要:本发明涉及DFB半导体激光器技术领域,提供了一种波长可调谐半导体激光器,包括DFB激光器结构、波长调谐器结构以及隧道结结构,所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构通过所述隧道结结构集成,所述隧道结结构位于所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构之间,所述DFB激光器结构、所述隧道结结构以及所述波长调谐器结构沿高度方向叠设。本发明的一种波长可调谐半导体激光器,通过在高度方向叠设制作的方式,只需要一次外延生长即可得到可调谐激光器,简化了制作工艺,降低了成本。

主权项:1.一种波长可调谐半导体激光器,其特征在于:包括DFB激光器结构、波长调谐器结构以及隧道结结构,所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构通过所述隧道结结构集成,所述隧道结结构位于所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构之间,所述DFB激光器结构、所述隧道结结构以及所述波长调谐器结构沿高度方向叠设。

全文数据:

权利要求:

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