龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：昂成精密仪器(深圳)有限公司
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种水气分配装置及半导体加工设备。水气分配装置包括筒体，以及在筒体内沿轴向依次设置的第一定位环、第二定位环、第三定位环和第四定位环，筒体的两端分别设置有第一端盖和第二端盖，转轴与第二端盖之间具有间隙，且第一定位环、第二定位环、第三定位环和第四定位环的内圈与转轴密封连接、外圈与筒体密封连接；第一定位环、第二定位环、第三定位环和第四定位环之间依次形成有第一流道、第二流道和第三流道；转轴上设置有与第一流道连通的第一过孔、与第二流道连通的第二过孔、与第三流道连通的第三过孔，以及与间隙连通的第四过孔。以解决现有技术中水管和气管走线复杂，安装维护困难的问题。
主权项：1.一种水气分配装置，其特征在于，包括：筒体、转轴，以及在所述筒体内且沿所述筒体的轴向依次设置的第一定位环、第二定位环、第三定位环和第四定位环，所述筒体轴向的两端分别设置有第一端盖和第二端盖，所述转轴穿过所述第一端盖伸入至所述筒体内，所述转轴伸入所述筒体的一端与所述第二端盖之间具有间隙，且所述第一定位环、所述第二定位环、所述第三定位环和所述第四定位环的内圈与所述转轴密封连接，所述第一定位环、所述第二定位环、所述第三定位环和所述第四定位环的外圈与所述筒体的内圈密封连接；所述第一定位环与所述第二定位环之间形成有第一流道，所述第二定位环与所述第三定位环之间形成有第二流道，所述第三定位环与所述第四定位环之间形成有第三流道；所述筒体上设置有与所述第一流道连通的第一接口、与所述第二流道连通的第二接口，以及与所述第三流道连通的第三接口，所述第二端盖上设置有与所述间隙连通的第四接口；所述转轴上设置有与所述第一流道连通的第一过孔、与所述第二流道连通的第二过孔、与所述第三流道连通的第三过孔，以及与所述间隙连通的第四过孔，其中，所述第一接口和所述第二接口用于通水，所述第三接口和所述第四接口用于通气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昂成精密仪器(深圳)有限公司 一种水气分配装置及半导体加工设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号