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申请/专利权人:成都海光微电子技术有限公司
摘要:本申请实施例提供一种芯片的失效分析方法、芯片设计方法、装置、设备及介质,其中失效分析方法包括:获取芯片的局部失效分析结果,所述局部失效分析结果包括芯片发生失效异常的局部失效位置,以及局部失效位置发生失效异常对应的工艺原因;根据所述局部失效位置,确定芯片的疑似失效位置;在所述疑似失效位置,模拟工艺原因;检查所述疑似失效位置模拟工艺原因之后是否发生失效异常,得到检查报告;根据检查报告,生成芯片的失效分析结果。本申请实施例可以提升失效分析在芯片的覆盖面,为芯片在生产制造和设计环节的改进提供较为全面的方向和证据,为提升芯片的良品率、降低芯片发生失效异常的概率提供基础。
主权项:1.一种芯片的失效分析方法,其特征在于,包括:获取芯片的局部失效分析结果,所述局部失效分析结果包括芯片发生失效异常的局部失效位置,以及局部失效位置发生失效异常对应的工艺原因;根据所述局部失效位置的位置属性,在芯片中寻找与所述局部失效位置的位置属性相对应的位置,作为芯片的疑似失效位置,所述疑似失效位置为怀疑因为工艺原因而存在失效异常的芯片位置;在所述疑似失效位置,模拟工艺原因;检查所述疑似失效位置模拟工艺原因之后是否发生失效异常,得到检查报告;根据检查报告,生成芯片的失效分析结果。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 成都海光微电子技术有限公司 芯片的失效分析方法、芯片设计方法、装置、设备及介质
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