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申请/专利权人：曲面超精密光电(深圳)有限公司
摘要：本发明涉及滚轮领域，具体为一种滚轮的制作方法，其包括以下步骤：S1、选择5G薄膜天线和压力传感器功能的最佳电路图方案；S2、对5G薄膜来进行光刻和钻孔；S3、将钻孔后具有电路的薄膜，放入电镀设备中来进行电镀，用湿式蚀刻的方法，将不需要的部分去除；S4、将薄膜表面的线路镀上镍金；S5、在薄膜表面上镀上一层铟化合物；S6、将5G薄膜天线和具有压力传感功能的电路图的薄膜和静电吸盘薄膜利用胶粘接在一起，然后灌胶形成滚轮；S7、对滚轮进行抛光和量测。本发明中，让静电吸附薄膜同时具有张力量测能力，透过实时数据的反馈来确保正常生产和调整工艺参数以提高良率，让生产变得更加智能化。
主权项：1.一种滚轮的制作方法，包括以下步骤：S1、利用电路设计软件、仿真软件、搭配材料的介电参数以及算法来进行仿真设计，选择出5G薄膜天线和压力传感器功能的最佳电路图方案；S2、将5G薄膜天线和具有压力传感功能的电路图以卷对卷生产设备，搭配上绿光皮秒激光设备，对薄膜来进行光刻和钻孔；S3、将钻孔后具有电路的薄膜，放入电镀设备中来进行电镀，让薄膜表面镀铜，将此薄膜用湿式蚀刻的方法，将不需要的部分去除；S4、将薄膜表面已经镀上铜的线路以电镀或无电镀的方式再镀上镍金，达到对铜线路抗氧化的保护；S5、将已经形成镍金保护层的薄膜放入真磁控溅射设备的腔体中，并搭配高纯度的铟化合物靶材，在表面上镀上一层铟化合物，以达到电磁屏蔽效应；静电吸盘薄膜背面也是以真空磁控溅射的设备镀上铟化合物，来同时进行隔绝保护；S6、将5G薄膜天线和具有压力传感功能的电路图的薄膜和静电吸盘薄膜利用胶粘接贴合在一起，然后和聚胺脂灌胶在一起形成滚轮；S7、对滚轮进行抛光和量测，使其符合设计规范，滚轮轴心上预留可旋转式的端口，将滚轮安装在轴承座上，轴承座上安装张力传感器；所述滚轮包括轴承座1、滚轮2、张力传感器3和静电吸附薄膜4；滚轮2转动设置在两组轴承座1上；张力传感器3设置在轴承座1上；静电吸附薄膜4设置在滚轮2外周壁上，静电吸附薄膜4上设置压力传感器5，静电吸附薄膜4上设置有5G薄膜天线。
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权利要求：
百度查询： 曲面超精密光电(深圳)有限公司 一种滚轮的制作方法
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