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申请/专利权人：成都晶九科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种方便校准单晶炉籽晶同心度的工装，涉及晶体生长设备技术领域，该工装包括电阻炉，电阻炉内设置有旋转机构、夹持机构和同心度调整机构，旋转机构的执行端传动连接有导杆；夹持机构包括连接杆和钼籽晶杆，钼籽晶杆的一端设置有夹具，钼籽晶杆的另一端与连接杆可拆卸连接；同心度调整机构包括紧固机构和激光位移传感器，紧固机构设置于连接杆远离钼籽晶杆的一端，导杆与连接杆通过紧固机构可拆卸连接；激光位移传感器设置于电阻炉内，且其长边的延伸方向与钼籽晶杆的中轴线平行。其通过夹持机构和同心度调整机构，便于调整籽晶结构与不锈钢导杆的同心度，解决了塞钼片热胀冷缩产生形变影响整体结构同心度的问题。
主权项：1.一种方便校准单晶炉籽晶同心度的工装，包括电阻炉（1），其特征在于，所述电阻炉（1）内设置有旋转机构、夹持机构和同心度调整机构，所述旋转机构的执行端传动连接有导杆（2）；所述夹持机构包括连接杆（3）和钼籽晶杆（4），所述钼籽晶杆（4）的一端设置有夹具，所述夹具用于将方形籽晶（5）固定在所述钼籽晶杆（4）上，所述钼籽晶杆（4）的另一端与所述连接杆（3）可拆卸连接；所述同心度调整机构包括紧固机构和激光位移传感器（6），所述紧固机构设置于所述连接杆（3）远离所述钼籽晶杆（4）的一端，所述导杆（2）与所述连接杆（3）通过所述紧固机构可拆卸连接；所述激光位移传感器（6）设置于所述电阻炉（1）内，且其长边的延伸方向与所述钼籽晶杆（4）的中轴线平行。
全文数据：
权利要求：
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