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一种次品复检处理设备 

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申请/专利权人:深圳市华拓半导体技术有限公司

摘要:本实用新型属于半导体检测技术领域,特别涉及一种次品复检处理设备。次品复检处理设备包括机台、料片输送机构、复检机构和次品处理机构;料片输送机构用于将料片输送至复检机构;复检机构包括第一升降组件、安装架及第一输送组件,第一升降组件与安装架连接,安装架上具有复检通道;次品处理机构包括检测部和次品处理部,第一升降组件能够带动安装架在检测位置和输送位置之间移动,安装架位于检测位置时,检测部对次品料片进行复检,次品处理部标记次品料片;安装架位于输送位置时,第一输送组件将标记的次品料片送出。本实用新型复检机构、检测部和次品处理部集成在一个机台上,能够节省二次拼装和调试的过程,降低复检机构和次品处理机构的调试难度。

主权项:1.一种次品复检处理设备,其特征在于,包括机台、料片输送机构、复检机构和次品处理机构;所述料片输送机构设置在所述机台上,所述料片输送机构用于接收料片并将料片输送至所述复检机构;所述复检机构包括第一升降组件、安装架及设置在所述安装架上的第一输送组件,所述第一升降组件连接在所述机台上,所述第一升降组件的输出端与所述安装架连接,所述安装架上具有用于接收由所述料片输送机构输送的料片中的次品料片的复检通道;所述次品处理机构包括检测部和次品处理部,所述第一升降组件能够带动所述安装架在检测位置和输送位置之间往复移动,所述安装架位于所述检测位置时,所述检测部用于对所述复检通道上的次品料片进行复检,所述次品处理部用于在所述检测部确认次品料片的缺陷时标记次品料片;所述安装架位于所述输送位置时,所述第一输送组件能够将标记的次品料片从所述复检通道送出。

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