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一种超低浓度乙硼烷的自动混配装置 

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申请/专利权人:太和气体(荆州)有限公司

摘要:本实用新型公开了一种超低浓度乙硼烷的自动混配装置,包括箱体、设置于所述箱体内的散热组件、设置于箱体上的第一进气口和第二进气口,在第一气体经由所述第一进气口并且第二气体经由所述第二进气口进入所述箱体中的情况下,所述第一气体和所述第二气体能够对所述散热组件形成冲击,所述散热组件能够基于所述冲击而绕其自身中轴线旋转。本申请中,在第一气体和第二气体注入箱体中时即可实现叶片的转动,叶片转动能够进一步提高混合效果,同时能够使得混合后的气体向下移动,此外,相比于现有技术中需要单独设置用于驱动叶片旋转的驱动电机而言,本申请能够降低设备成本。

主权项:1.一种超低浓度乙硼烷的自动混配装置,其特征在于,包括箱体(1)、设置于所述箱体(1)内的散热组件(2)、设置于箱体(1)上的第一进气口(3)和第二进气口(4),在第一气体经由所述第一进气口(3)并且第二气体经由所述第二进气口(4)进入所述箱体(1)中的情况下,所述第一气体和所述第二气体能够对所述散热组件(2)形成冲击,所述散热组件(2)能够基于所述冲击而绕其自身中轴线旋转;所述散热组件(2)包括散热筒(2a)、转动环(2b)和叶片(2c),所述转动环(2b)转动设置于所述散热筒(2a)上,所述叶片(2c)设置于所述转动环(2b)上,所述叶片(2c)能够接受所述冲击;所述散热筒(2a)能够贯穿所述箱体(1),其中,所述散热筒(2a)内设置有循环流道(7)。

全文数据:

权利要求:

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