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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了工作台、半导体器件加工设备及调平组件，其中工作台，包括基座及设置在基座上的载台组件，载台组件通过至少一调平组件及支撑组件连接基座，调平组件包括连接在基座上的电驱动器，电驱动器连接在一转轴的下端并驱动转轴转动，转轴的轴线沿铅垂方向延伸，转轴上形成有挡盘，挡盘设置在轴承上，轴承套装于所述转轴上且位于基座上，所述转轴的上端螺纹连接一调节套，所述调节套连接所述载台组件。本实用新型采用电机进行驱动，其调节精度相对液压缸更高，同时，整个调平组件的结构可以采购简单的零件自行组装且在调平组件异常时能够方便地进行零件更换，能够有效地控制设备成本及后续的维护成本。
主权项：1.工作台，包括基座及设置在所述基座上的载台组件，所述载台组件通过调平组件及支撑组件连接所述基座，其特征在于：所述调平组件包括连接在所述基座上的电驱动器，所述电驱动器连接在一转轴的下端并驱动所述转轴转动，所述转轴的轴线沿铅垂方向延伸，所述转轴上形成有挡盘，所述挡盘设置在轴承上，所述轴承套装于所述转轴上且位于所述基座上，所述转轴的上端螺纹连接一调节套，所述调节套连接所述载台组件。
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百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 工作台、半导体器件加工设备及调平组件
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