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申请/专利权人：北京长城航空测控技术研究所有限公司;中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所

摘要：本发明提供一种长距离无透镜检偏臂太赫兹椭偏测厚系统，涉及椭偏测厚技术领域，其包括：太赫兹光源、准直透镜、结构化透镜、四分之一波片、二分之一波片、探测器、第一支撑臂、第二支撑臂、电控平移台和控制器；第一支撑臂的第一端与电控平移台的上端部转动连接，第二支撑臂的第一端与电控平移台的上端部转动连接，电控平移台上设置有样品台；第一支撑臂与第二支撑臂通过样品台共光轴；太赫兹光源、准直透镜、结构化透镜和四分之一波片依次设置在第一支撑臂上；探测器和二分之一波片依次设置在第二支撑臂上；探测器、电控平移台和太赫兹光源均与控制器连接。本发明可以更高效、准确地对光路进行调节，进一步提高测量精度。

主权项：1.一种长距离无透镜检偏臂太赫兹椭偏测厚系统，其特征在于，其包括：太赫兹光源、准直透镜、结构化透镜、四分之一波片、二分之一波片、探测器、第一支撑臂、第二支撑臂、电控平移台和控制器；所述第一支撑臂的第一端与所述电控平移台的上端部转动连接，所述第二支撑臂的第一端与所述电控平移台的上端部转动连接，所述电控平移台上设置有样品台；所述第一支撑臂与所述第二支撑臂通过所述样品台共光轴；所述太赫兹光源、所述准直透镜、所述结构化透镜和所述四分之一波片沿所述第一支撑臂的第二端向所述第一支撑臂的第一端的方向依次设置在所述第一支撑臂上；所述探测器和所述二分之一波片沿所述第二支撑臂的第二端向所述第二支撑臂的第一端的方向依次设置在所述第二支撑臂上；所述探测器、所述电控平移台和所述太赫兹光源均与所述控制器连接；具体地，所述系统的搭建过程为：首先将所述第一支撑臂的第一端与所述电控平移台的上端部转动连接，将所述第二支撑臂的第一端与所述电控平移台的上端部转动连接，将所述样品台设置在所述电控平移台上；然后将所述太赫兹光源设置在所述第一支撑臂上，将所述探测器设置在所述第二支撑臂上，并使得所述探测器的检偏方向与所述太赫兹光源的出射光偏振方向相同；以所述探测器的初始位置为原点，以所述第一支撑臂的方向为Z轴，以垂直于所述第一支撑臂的面的方向作为X轴，以垂直于X轴和Z轴的方向作为Y轴构建第一空间坐标系；所述太赫兹光源发出的太赫兹光经过所述样品台反射后被所述探测器接收，所述探测器基于第一空间坐标系得到第一光强面阵，所述第一光强面阵所在平面为所述第一空间坐标系的XY平面，所述控制器将所述光强面阵中光强极大值对应的点作为接收最优点，并控制所述探测器移动至所述接收最优点；然后将所述准直透镜安装在所述第二支撑臂上，所述太赫兹光源发出的太赫兹光穿过所述准直透镜后经过所述样品台反射后被所述探测器接收，所述探测器基于第一空间坐标系得到第二光强面阵，若所述第二光强面阵的光强极大值对应点与所述接收最优点重合，则将所述准直透镜的初始位置作为所述准直透镜的最优位置，若所述第二光强面阵的光强极大值对应点与所述接收最优点没有重合，则在第二空间坐标系的XY平面上移动所述准直透镜并重复此过程，直至所述第二光强面阵的光强极大值对应点与所述接收最优点重合，将所述准直透镜的最终位置作为所述准直透镜的最优位置；以所述准直透镜的初始位置为原点，以所述第二支撑臂的方向为Z轴，以垂直于所述第二支撑臂的面的方向作为X轴，以垂直于X轴和Z轴的方向作为Y轴构建得到所述第二空间坐标系；最后将所述结构化透镜和所述四分之一波片安装在所述第二支撑臂上，将所述二分之一波片安装在所述第一支撑臂上，得到所述系统。

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