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申请/专利权人：晶科能源(上饶)有限公司;晶科能源(海宁)有限公司
摘要：本发明公开了一种TOPCON电池及其制备方法，TOPCON电池包括硅片以及沿第一方向设置在硅片的第一表面的隧穿氧化层、本征多晶硅层和掺杂多晶硅层，本征多晶硅层和掺杂多晶硅层之间设有阻挡层，阻挡层钝化本征多晶硅层的表面，形成多层钝化结构，增强钝化效果，提升电池转化效率，实现空穴选择性传输对后续硼原子的扩入形成一定的阻碍，减少扩散深度；阻挡层的厚度小于掺杂多晶硅层的厚度，较薄的阻挡层可进一步的提升电池转换效率，提升双面率水平。本发明提供的TOPCON电池制备方法，低温原子层沉积法制备阻挡层，更好实现对阻挡层厚度的控制。
主权项：1.一种TOPCON电池，其特征在于，包括：硅片；还包括沿第一方向，设置在所述硅片的第一表面的隧穿氧化层，依次层叠设置于所述隧穿氧化层远离所述第一表面一侧的本征多晶硅层、掺杂多晶硅层和减反层，所述第一方向为所述硅片的厚度方向；所述第一表面为电池的背面；沿所述第一方向，所述本征多晶硅层和所述掺杂多晶硅层之间还设有阻挡层，所述阻挡层的厚度小于所述掺杂多晶硅层的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 晶科能源(上饶)有限公司 晶科能源(海宁)有限公司 一种TOPCON电池及其制备方法
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