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申请/专利权人：北京态锐仪器科技有限公司
摘要：本发明涉及空间原子层沉积技术领域，提供了一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，包括：第一壳体，第一壳体是由多个相同的可拆卸相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个单元腔室内均间隔设有多个隔断以将单元腔室分割成多个功能区域腔；多段传动导轨，多段传动导轨上设有多个用于放置晶圆的托盘，多个托盘一一对应地与多个单元腔室相对应，每一段传动导轨设置在第一壳体内的每一个单元腔室中，当单元腔室组合成第一壳体时，多段传动导轨形成闭环，以使多个托盘在多个单元腔室内循环移动；通过将第一壳体设置成环形结构，具有空间紧凑，本系统可以将系统配件放置在环形中央，利于产线布局。
主权项：1.一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，其特征在于，包括：第一壳体，所述第一壳体是由多个相同的可拆卸相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个所述单元腔室内均间隔设有多个隔断以将所述单元腔室分割成多个功能区域腔；单元腔室之间由隔层隔开，隔层留有可供托盘通过的缝隙；多段传动导轨，所述多段传动导轨上设有多个用于放置晶圆的托盘，多个所述托盘一一对应地与多个所述单元腔室相对应，多段所述传动导轨分别设置在所述第一壳体内的多个单元腔室中，当所述单元腔室组合成第一壳体时，所述多段传动导轨形成闭环，以使多个所述托盘在多个所述单元腔室内循环移动；第二壳体，所述第二壳体与其中一个所述单元腔室相连通，所述第二壳体内设有用于将晶圆放置在托盘上的搬运机械臂；气体进入管道，所述气体进入管道分别与多个所述单元腔室相连通，所述气体进入管道用于向至少部分所述功能区域腔送入相应气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京态锐仪器科技有限公司 一种模块化旋转式空间原子层沉积系统
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