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申请/专利权人:河南微米光学科技有限公司
摘要:本发明涉及晶体材料生长领域,具体的涉及一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置及控制方法,包括以下步骤:步骤一:将晶体生长的原料放入坩埚中,控制垂直升降机构运行到原始位置;步骤二:通过信息输入器输入晶体生长工艺参数;步骤三:开启自动运行控制器与伺服控制器进行通讯,将相应参数输送到伺服控制器,通过伺服控制器对伺服电机进行控制;步骤四:温度感应器和位移感应器的实时数据被信息采集器实时采集;步骤五:程序运行结束后,待炉体内温度降至室温,通过垂直升降机构调节坩埚在炉体内的位置,将晶体取出。通过自动控制装置及控制方法,晶体生长操作控制更加简单方便、自动化程度高。
主权项:1.一种基于坩埚下降法生长晶体的自动控制装置,其特征在于:包括联动控制模块:用于通过时间计算调控晶体生长过程中温度与坩埚垂直运动之间的关系的信息控制中枢;晶体生长模块:包括用于晶体生长的炉体,及炉体内用于放置晶体生长原料的坩埚;温度调控模块:用于接收联动控制模块信号对炉体加热并对炉体内的温度进行调控,并向联动控制模块发送温度信号,或作为温度控制的输入输出模块组成;坩埚运动模块:用于接收联动控制模块信号,并控制坩埚自动进行垂直运动,并反馈给联动控制模块当前运行的位置、速率和方向相关信息;联动控制模块向温度调控模块和坩埚运动模块同步发送温度、速率、运动方向和时间参数,温度调控模块在调控温度的同时,坩埚运动模块同时在设定状态下静止或运动;所述联动控制模块包括用于接收或发送温度调控模块信号,并向坩埚运动模块发送信号的控制器,用于记录晶体生长过程中温度变化、垂直运动距离、以及晶体生长进度的数据采集器,用于远程检测、控制联动控制模块的远程控制器,用于输入坩埚垂直运动时的运动时间和速率及相应时间炉体内温度的温度值的信息输入器,还包括用于处理比对控制器、数据采集器、远程控制器、信息输入器中的信息数据的信息处理器。
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