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申请/专利权人:科磊股份有限公司
摘要:在图像对比度量中使用全局及局部对准能量。所述图像对比度量可用于寻找光学目标。可使用来自梯度幅值图像的一些像素及来自光学图像的背景内容范围图像来确定所述图像对比度量。接着可使用来自跨晶片的部分的所述图像对比度量的热图heatmap来制作目标列表。可应用置信上限及下限值来对可用目标进行排名。
主权项:1.一种用于光学检验的系统,其包括:光源,其产生光束;载物台,其经配置以将半导体晶片固持于所述光束的路径中;检测器,其经配置以接收从所述半导体晶片反射的所述光束;及处理器,其与所述检测器电子通信,其中所述处理器经配置以:使用来自所述检测器的数据产生光学图像;从所述光学图像确定梯度幅值图像;从所述光学图像确定背景内容范围图像;从所述梯度幅值图像选择第一组像素且从所述背景内容范围图像选择第二组像素,其中所述第一组像素少于所述梯度幅值图像中的像素的100%及所述第二组像素少于所述背景内容范围图像中的像素的100%;及使用所述第一组像素及所述第二组像素及为∈[0,1.0]的值α确定图像对比度量。
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权利要求:
百度查询: 科磊股份有限公司 用于光学目标搜索的光学图像对比度量
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