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申请/专利权人：成都兴南真科科技有限责任公司
摘要：本实用新型提供一种基片装载台防污装置，属于真空镀膜机技术，包括：防污罩，用于和基片装载台配合，包括防污圆板和外环，外环下端垂直连接防污圆板边缘，外环上端同轴连接有内环，防污圆板边缘还开设有环槽，环槽一内壁与外环内侧壁重合设置；支撑机构，圆周阵列于基片装载台外壁，包括支撑平台及配合槽，支撑平台沿防污圆板径向滑动配合于配合槽；支撑平台上表面和基片装载台下表面边缘的距离，与内环底面和环槽底面的距离匹配。本实用新型对基片装载台的密封性更强，且可以更便捷地实现防污罩的安装与取卸，具有较高的实用性。
主权项：1.一种基片装载台防污装置，设于基片装载台（5）上，其特征在于，包括：防污罩（1），用于和基片装载台（5）配合，包括防污圆板（11）和外环（12），外环（12）下端垂直连接防污圆板（11）边缘，外环（12）上端同轴连接有内环（13），防污圆板（11）边缘还开设有环槽（14），环槽（14）一内壁与外环（12）内侧壁重合设置；支撑机构（2），圆周阵列于基片装载台（5）外壁，包括支撑平台（21）及配合槽（22），支撑平台（21）沿防污圆板（11）径向滑动配合于配合槽（22）；支撑平台（21）上表面和基片装载台（5）下表面边缘的距离，与内环（13）底面和环槽（14）底面的距离匹配。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都兴南真科科技有限责任公司 一种基片装载台防污装置
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