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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种在等离子体处理装置内使用的部件的形成方法，该部件的形成方法包括根据所述部件的表面状态一边供给该部件的原料，一边对所述原料照射能量束的工序。
主权项：1.一种部件的修复方法，其特征在于，包括：取得表示部件的消耗状态的三维数据的第一工序；基于所述三维数据，对所述部件的消耗量与阈值进行比较的第二工序；和当在所述第二工序中，所述部件的消耗量超过了所述阈值的情况下，基于所述三维数据，一边向所述部件的表面供给所述部件的原料一边对所述原料照射能量束的第三工序，所述部件的消耗状态为等离子体处理后的消耗状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 部件的形成方法和基片处理系统
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