龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：一种在具有沟的基板上制造氮化硅质膜的方法，其包括以下工序：a在具有沟的基板上施用氮化硅质组合物，以形成组合物层；b对该组合物层照射波长200～229nm的光；以及c在非氧化气氛中加热该基板；其中该氮化硅质膜对波长633nm的光的折射率为1.70～2.40。
主权项：1.一种在具有沟的基板上制造氮化硅质膜的方法，其包括以下工序：a在具有沟的基板上施用氮化硅质组合物，以形成组合物层；b对该组合物层照射波长200～229nm的光；及c在非氧化气氛中加热该基板，其中，该氮化硅质膜对波长633nm的光的折射率为1.70～2.40。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利有限公司 在具有沟的基板上制造氮化硅质膜的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号