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摘要：本发明提供一种单晶硅引细晶方法、单晶硅细晶结构及单晶硅，涉及单晶硅生产领域。本发明提供的单晶硅引细晶方法包括以下步骤：步骤1，将籽晶插入熔融硅中，提拉籽晶引细晶；步骤2，增加提拉籽晶的速度，使细晶的直径逐步缩减至第一预设值，以形成缩颈段；步骤3，减小提拉籽晶的速度，使细晶的直径由第一预设值逐步增加至第二预设值，以形成第一细晶段；步骤4，增加提拉籽晶的速度，使细晶的直径由第二预设值逐步降低至第三预设值，以形成第二细晶段；重复步骤3和步骤4，直至达到预设的细晶总长度。本发明提供一种单晶硅引细晶方法、单晶硅细晶结构及单晶硅，可以提高排出位错的效率。
主权项：1.一种单晶硅引细晶方法，其特征在，包括以下步骤：步骤1：将籽晶插入熔融硅中，提拉籽晶引细晶；步骤2：增加提拉籽晶的速度，使所述细晶的直径逐步缩减至第一预设值，以形成缩颈段；步骤3：减小提拉籽晶的速度，使所述细晶的直径由所述第一预设值逐步增加至第二预设值，以形成第一细晶段；步骤4：增加提拉籽晶的速度，使所述细晶的直径由所述第二预设值逐步降低至第三预设值，以形成第二细晶段；步骤5：重复上述步骤3和步骤4，直至达到预设的细晶总长度；其中，提拉籽晶的速度控制在40mmh～500mmh。
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百度查询： 四川高景太阳能科技有限公司 高景太阳能股份有限公司 单晶硅引细晶方法、单晶硅细晶结构及单晶硅
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