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基于图像轮廓特征与灰度匹配的芯片视觉定位系统及方法 

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摘要:本发明涉及视觉检测技术领域,尤其涉及一种基于图像轮廓特征与灰度匹配的芯片视觉定位系统及方法,将图像采集模块移动至芯片检测位置对待测芯片进行图像采集,获得待测芯片图像;通过图像预处理模块基于数学形态学运算对待测芯片图像进行预处理,使得芯片门极键合区域的轮廓清晰;通过图像匹配定位模块对预处理后的待测芯片图像进行芯片门极键合区域的轮廓提取,计算芯片门极键合区域的中心点坐标和旋转角度,基于该中心点坐标和旋转角度设计局部矩形搜索区域及匹配角度并作为搜索窗口,采用改进的NCC视觉定位方法对芯片门极键合区域的中心点进行精确定位,获得视觉定位检测结果。本发明能够提高芯片视觉定位的速度、精度和鲁棒性。

主权项:1.一种基于图像轮廓特征与灰度匹配的芯片视觉定位系统,其特征在于,包括图像采集模块、光源照明模块、图像预处理模块、图像匹配定位模块和网络通信模块;其中,光源照明模块用于为图像采集模块提供照明;图像采集模块用于对待测芯片进行拍摄,并将获得的待测芯片图像传输至图像预处理模块;图像预处理模块用于基于数学形态学运算对待测芯片图像进行预处理,使得芯片门极键合区域的轮廓清晰;图像匹配定位模块用于对预处理后的待测芯片图像进行芯片门极键合区域的轮廓提取,计算芯片门极键合区域的中心点坐标和旋转角度,基于该中心点坐标和旋转角度设计局部矩形搜索区域及匹配角度并作为搜索窗口,采用改进的NCC视觉定位方法对芯片门极键合区域的中心点进行精确定位,获得视觉定位检测结果,并传输至网络通信模块;网络通信模块用于将视觉定位检测结果通过网口传输至键合封装设备控制终端。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于图像轮廓特征与灰度匹配的芯片视觉定位系统及方法

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