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摘要：提出一种具有拥有主延伸平面衬底和驱动装置的转速传感器，驱动装置用于驱动第一和第二震动质量沿着基本上平行于主延伸平面走向的驱动方向的驱动运动，转速传感器配置成使得基于第一和第二震动质量的至少部分区域沿着基本上垂直于主延伸平面走向的探测方向的偏转来探测绕敏感方向的转速，敏感方向垂直于驱动方向并且也基本上平行于主延伸平面走向，转速传感器具有至少一个耦合结构以及至少一个第一和第二固定于衬底的探测电极，至少一个耦合结构与第一和第二震动质量均耦合成，使得在使用至少第一和第二探测电极的情况下，由于基于第一和第二震动质量的至少部分区域沿着探测方向进行的、至少一个耦合结构的探测偏转而进行转速的探测。
主权项：1.一种具有衬底和驱动装置的转速传感器100，所述衬底具有主延伸平面，所述驱动装置用于驱动第一和第二震动质量10、30沿着基本上平行于所述主延伸平面走向的驱动方向101的驱动运动，其中，所述转速传感器100如此配置，使得基于所述第一和第二震动质量10、30的至少部分区域沿着基本上垂直于所述主延伸平面走向的探测方向103的偏转来探测绕敏感方向102的转速，所述敏感方向垂直于所述驱动方向101并且也基本上平行于所述主延伸平面走向，其特征在于，所述转速传感器100具有至少一个耦合结构20以及至少一个第一和第二固定于衬底的探测电极21、23，其中，所述至少一个耦合结构20与所述第一和第二震动质量10、30均如此耦合，使得在使用至少所述第一和第二探测电极21、23的情况下，基于所述至少一个耦合结构20的探测偏转进行所述转速的探测，所述探测偏转基于所述第一和第二震动质量10、30的至少部分区域沿着所述探测方向103的偏转进行。
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百度查询： 罗伯特·博世有限公司 带有具有主延伸平面的衬底和驱动装置的转速传感器
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