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用于预固定衬底的方法和装置 

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摘要:本发明涉及一种用于预固定衬底1、2的方法和装置,其中在至少一个表面区域中非晶化所述衬底1、2的至少一个衬底表面1o、2o,其特征在于,所述衬底1、2被定向且接着在所述经非晶化的表面区域处接触并且预固定。

主权项:1.用于预固定衬底1、2的方法,其中在至少一个表面区域中非晶化所述衬底1、2的至少一个衬底表面1o、2o,其特征在于,所述衬底1、2被定向且接着在所述非晶化的表面区域处接触并且预固定并且由此形成衬底堆,其中预固定通过局部能量输入来实现并且所述局部能量输入通过电磁辐射来生成并且由激光器产生,所述激光器产生激光束,所述激光束提供具有对衬底堆中的至少一种材料进行加热的波长的电磁辐射,并且其中对经预固定的衬底堆的传送利用机械臂来实现。

全文数据:

权利要求:

百度查询: EV集团E·索尔纳有限责任公司 用于预固定衬底的方法和装置

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