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摘要：本发明属于推拉舟技术领域，尤其涉及一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置。本发明包括推拉舟模组，推拉舟模组设置在动力单元上；舟桨托架组件，设置于推拉舟模组一侧；管型舟桨组件，设置于舟桨托架组件下侧，且设置在动力单元上；管型舟桨组件包括矩形碳化硅杆，半架夹紧块，用于夹持矩形碳化硅杆的杆轴夹紧块。本申请的碳化硅桨整体使用一对具有矩形截面碳化硅杆构成，将晶舟置于两个碳化硅杆之间即可实现对晶舟的支撑效果，此外还设置了夹紧装置以保证了对碳化硅桨端部的固定作用，使得碳化硅桨在承载更多重量的晶舟时，也能够保持稳定。

主权项：1.一种用于硼扩散过程的碳化硅桨结构，其特征在于，包括：推拉舟模组（1），所述推拉舟模组（1）设置在动力单元上；舟桨托架组件（2），设置于所述推拉舟模组（1）一侧；管型舟桨组件（3），设置于所述舟桨托架组件（2）下侧，且设置在所述动力单元上；所述管型舟桨组件（3）包括矩形碳化硅杆（308），半架夹紧块（305），用于夹持所述矩形碳化硅杆（308）的杆轴夹紧块（306），设置于所述半架夹紧块（305）的卡槽，设置于所述卡槽内侧的齿槽，设置于所述半架夹紧块（305）并用于提高所述杆轴夹紧块（306）对所述矩形碳化硅杆（308）夹持力的按压件，以及设置于所述半架夹紧块（305）并用于维持所述杆轴夹紧块（306）对所述矩形碳化硅杆（308）夹持力的螺纹件；所述按压件包括用于插入所述卡槽的拉杆（318），设置在所述拉杆（318）侧面上并用于啮合所述齿槽的齿槽板（317），以及设置在所述拉杆（318）上并用于挤压所述杆轴夹紧块（306）的挤压部；所述挤压部包括设置于所述杆轴夹紧块（306）侧面的限位卡板（311），设置于所述拉杆（318）内端并用于挤压所述限位卡板（311）的立架（316），设置于所述立架（316）和所述限位卡板（311）之间的压板（313），设置于所述限位卡板（311）与所述压板（313）之间的夹紧弹簧（312），以及设置在所述限位卡板（311）上且贯穿所述压板（313）的贯穿轴（314）；所述螺纹件包括设置在所述半架夹紧块（305）上的贯穿套（323），设置在所述贯穿套（323）上的齿套（324），用于螺接并向内收紧所述齿套（324）的锥纹螺帽（325），用于插入所述贯穿套（323）和所述锥纹螺帽（325）并与所述齿套（324）内侧卡接的齿纹丝杆（322）。

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百度查询： 无锡松煜科技有限公司 一种用于硼扩散过程的碳化硅桨装置