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摘要：本实用新型公开了一种新型碳化硅退火装置，其包括：壳体、若干连接杆、退火装置本体和底座，所述退火装置本体内置于壳体和底座形成封闭的腔体中；所述连接杆一端与退火装置本体相连，另一端与外部电源相连；所述退火装置本体包括加热器、换热器以及碳化硅容纳腔体，所述碳化硅容纳腔体置于退火装置本体的最内部，所述换热器套设在碳化硅容纳腔体的外部，所述加热器环绕设于换热器外部，所述加热器为石墨加热器，所述加热器上设有若干间隔均匀的加热器肋片，所述换热器上设有若干间隔均匀的换热器肋片，所述加热器肋片和换热器肋片均朝向碳化硅容纳腔体设置。本实用新型提供的新型碳化硅退火装置传热迅速均匀，防止热能的过度流失，同时节约能源。
主权项：1.一种新型碳化硅退火装置，其包括：壳体（1）、若干连接杆（2）、退火装置本体和底座（6），所述退火装置本体内置于壳体（1）和底座（6）形成封闭的腔体中；所述连接杆（2）一端与退火装置本体相连，另一端与外部电源相连；所述退火装置本体包括加热器、换热器以及碳化硅容纳腔体，所述碳化硅容纳腔体置于退火装置本体的最内部，所述换热器套设在碳化硅容纳腔体的外部，所述加热器环绕设于换热器外部，其特征在于，所述加热器为石墨加热器，所述加热器上设有若干间隔均匀的加热器肋片，所述换热器上设有若干间隔均匀的换热器肋片，所述加热器肋片和换热器肋片均朝向碳化硅容纳腔体设置。
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百度查询： 深圳技术大学 一种新型碳化硅退火装置
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