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摘要：本申请提供一种车规级发光二极管芯片及其制备方法，车规级发光二极管芯片的制备方法包括：形成图案化的发光外延层；在发光外延层的一侧形成图案化的导电反射层和图案化的导电保护层；其中，在发光外延层上形成图案化的导电反射层和图案化的导电保护层的步骤包括：在发光外延层的一侧形成图案化的光刻胶层；以光刻胶层为掩模版，采用蒸发镀膜的方式，形成图案化的导电反射层；以光刻胶层为掩模版，采用溅射镀膜的方式，在导电反射层上形成包覆导电反射层的图案化的导电保护层。本申请能够在仅使用一道光罩的情况下，制备形成对导电反射层包覆性良好的导电保护层，既降低了生产制造成本，还提升了车规级发光二极管芯片的可靠性。
主权项：1.一种车规级发光二极管芯片的制备方法，其特征在于，所述车规级发光二极管芯片的制备方法包括以下步骤：形成图案化的发光外延层；在所述发光外延层的一侧形成图案化的导电反射层和图案化的导电保护层，其中，所述导电反射层包括银，所述导电保护层不包括银；其中，所述在所述发光外延层上形成图案化的导电反射层和图案化的导电保护层的步骤包括：在所述发光外延层的一侧形成图案化的光刻胶层；以所述光刻胶层为掩模版，采用蒸发镀膜的方式，形成图案化的导电反射层；以所述光刻胶层为掩模版，采用溅射镀膜的方式，在所述导电反射层上形成包覆所述导电反射层的图案化的导电保护层。
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百度查询： 华引芯(张家港)半导体有限公司 华引芯(武汉)科技有限公司 一种车规级发光二极管芯片及其制备方法
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