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摘要：本申请涉及一种靶材退火方法，属于金属加工技术领域。本申请通过控制靶材在退火过程中旋转以及利用红外相机获取靶材表面不同区域的实时温度值，根据靶材不同区域的实时温度差来调节相应加热部件的加热功率，以控制靶材不同区域的温度差在特定范围内，改善靶材在退火过程中受热的均匀性，提升其温度均匀性，从而使其晶粒大小更均匀。
主权项：1.一种靶材退火方法，其特征在于，包括以下步骤：在惰性气氛下，将靶材边旋转边进行退火处理，然后冷却，得到目标靶材；所述退火处理所用设备具有两个以上可独立控制加热功率的加热部件；在所述退火处理过程中，利用红外相机获取靶材表面的实时温度，并根据所述靶材不同区域的实时温度差，调节各加热部件的加热功率以控制靶材不同区域温度差绝对值的最大值在1～21℃范围内。
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权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(江苏)有限公司 一种靶材退火方法
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